一种可以不破坏样品用X射线激发样品而产生X射线荧光的分析方法。可对原子序数大于8的元素进行定性和定量分析。当高速电子激发原子内层电子，被逐出的内层电子空穴由较外层电子填充，电子从较高能态的外层跃迁到较低能态的内层时，释放能量，导致X射线的产生。这种X射线是初级X射线。如果以初级X射线作为激发手段，用来照射样品物质，那么这种物质立即会发出次级射线。这种由于X射线照射物质而产生的次级X射线称为X射线荧光。X射线荧光产生于原子内层电子的跃迁，它们是代表元素特征的谱线。根据X射线荧光的波长（或光子能量）可进行定性分析。根据X射线荧光的强度可进行定量分析。

X射线荧光分析法主要使用X射线荧光谱仪。根据分光原理可分为波长色散型和能量色散型两类。波长色散型由X光管激发源、试样室、晶体分光器、探测器和计数系统等几部分组成。能量色散型则用分辨率较高的半导体探测器和多道脉冲分析器代替晶体分光器和一般探测器（见图）。

X射线荧光谱仪示意图

X射线荧光分析的特点是：①分析元素范围广。除少数轻元素外，周期表中几乎所有元素都可分析。②分析简便。荧光X射线谱线简单，谱线干扰少，对于化学性质相似的元素，如稀土，不必进行复杂的分离过程，即可分析。③不破坏分析样品，试样形式可多样化。无论固体、粉末、糊状物或液体均可采用。④分析浓度范围宽。从常量到微量均可分析。⑤自动化程度高，可同时快速分析多元素。但也有一定的局限性。其灵敏度较光学光谱分析要低一些（非金属除外）。在定量分析中对标样的要求严格，要求标准与试样的化学成分和物理状态相同，同时仪器价格较贵。

X射线荧光分析法广泛应用于冶金、地质、材料等领域，在农业上也常用来分析调查土壤和农作物的状况。用其测定硫快速而灵敏，对土壤和农作物的含硫量测定有重要意义。也可用来测定土壤和作物中钙、镁、氯、磷、铁、锰、钴、铜、锌、钼、铅、铬、镍、砷等元素。